日前，華虹集團(tuán)旗下華虹虹芯基金宣布完成對(duì)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備商大束科技（北京）有限責(zé)任公司的獨(dú)家投資，持續(xù)深化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)布局。

此次投資，將助力大束科技擴(kuò)大在半導(dǎo)體量檢測(cè)及實(shí)驗(yàn)室電鏡部分核心部件的供應(yīng)能力，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程，為國(guó)產(chǎn)電鏡廠商及在華外資企業(yè)提供本地化解決方案。

成立于2018年的大束科技，專注半導(dǎo)體量檢測(cè)及實(shí)驗(yàn)室電鏡核心部件研發(fā)，產(chǎn)品線覆蓋電子槍、離子槍、探測(cè)器等消耗性部件，在電子束設(shè)備的消耗性與易損性部件領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。其自主研發(fā)的熱場(chǎng)發(fā)射電子源、液態(tài)鎵離子源等產(chǎn)品性能已達(dá)國(guó)際領(lǐng)先水平，性能與使用壽命達(dá)到全球領(lǐng)先水平，且能在各類機(jī)型上與進(jìn)口產(chǎn)品良好兼容。

華虹虹芯基金自2021年成立以來，圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈展開全域布局?；鹂傄?guī)模超20億元，通過兩期基金，覆蓋芯片設(shè)計(jì)、前后道設(shè)備、材料、零部件及EDA/IP等領(lǐng)域，已投資包括芯卓科技、龍圖光罩、進(jìn)芯電子在內(nèi)的多家企業(yè)。其中一期基金DPI超30%，兩家被投企業(yè)登陸科創(chuàng)板；二期基金于2024年末證實(shí)開啟投資。